Caracterización de películas delgadas de AlN fabricadas por la técnica de erosión iónica II: propiedades ópticas y cálculos teóricos

García Méndez, Manuel y Morales Rodríguez, Santos y Machorro Mejía, Roberto y Galván, Donald H. (2009) Caracterización de películas delgadas de AlN fabricadas por la técnica de erosión iónica II: propiedades ópticas y cálculos teóricos. Ciencia UANL, 12 (1). pp. 35-41. ISSN 1405-9177

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Resumen

Con la técnica de erosión iónica reactiva se fabricó un conjunto de películas delgadas de nitruro de aluminio (AlN) a temperatura ambiente. Con espectroscopia elipsométrica se midieron los parámetros delta, psi (, D) y el índice de refracción (n) en función de la energía. Con estos parámetros ópticos se obtiene un estimado del ancho prohibido (Eg) con el modelo del oscilador simple de Lorentz. Asimismo, se realizaron cálculos teóricos de densidad de estados (DOS) y estructura de bandas. De la estructura de bandas se obtiene el valor teórico del ancho prohibido. Se efectúa una comparación entre cálculos teóricos y resultados experimentales.

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