![[feed]](/style/images/feed-icon-14x14.png){kind=icon}
Síntesis y caracterización de películas delgadas semiconductoras
García Méndez, Manuel y Morales Rodríguez, Santos (2013) Síntesis y caracterización de películas delgadas semiconductoras. Celerinet, 1. pp. 75-81.
|
PDF
SINTESIS_Y_CARACTERIZACION_DE_PELICULAS_DELGADAS_SEMICONDUCTORAS.pdf Download (1MB) | Vista previa |
Resumen
En este trabajo se presentan los resultados de una investigación que consistió en el depósito y crecimiento de películas delgadas de nitruro de aluminio (aln) empleando la técnica de erosión iónica reactiva por corriente directa (Dc). Se describe el análisis experimental de las propiedades estructurales de las películas.
| Tipo de elemento: | Article | |||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Palabras claves no controlados: | erosión iónica reactiva, películas delgadas de AIN | |||||||||
| Materias: | Q Ciencia > Q Ciencias en General Q Ciencia > QC Física |
|||||||||
| Divisiones: | Ciencias Físico Matemáticas | |||||||||
| Usuario depositante: | Admin Eprints | |||||||||
| Creadores: |
|
|||||||||
| Fecha del depósito: | 12 Jun 2013 21:03 | |||||||||
| Última modificación: | 21 Nov 2014 21:59 | |||||||||
| URI: | http://eprints.uanl.mx/id/eprint/3453 |
Actions (login required)
 |
Ver elemento |
Descargar estadísticas
Descargar estadísticas
