Síntesis y caracterización de películas delgadas semiconductoras

García Méndez, Manuel y Morales Rodríguez, Santos (2013) Síntesis y caracterización de películas delgadas semiconductoras. Celerinet, 1. pp. 75-81.

[img]
Vista previa
PDF
SINTESIS_Y_CARACTERIZACION_DE_PELICULAS_DELGADAS_SEMICONDUCTORAS.pdf

Download (1MB) | Vista previa

Resumen

En este trabajo se presentan los resultados de una investigación que consistió en el depósito y crecimiento de películas delgadas de nitruro de aluminio (aln) empleando la técnica de erosión iónica reactiva por corriente directa (Dc). Se describe el análisis experimental de las propiedades estructurales de las películas.

Tipo de elemento: Article
Palabras claves no controlados: erosión iónica reactiva, películas delgadas de AIN
Materias: Q Ciencia > Q Ciencias en General
Q Ciencia > QC Física
Divisiones: Ciencias Físico Matemáticas
Usuario depositante: Admin Eprints
Creadores:
CreadorEmailORCID
García Méndez, ManuelNO ESPECIFICADONO ESPECIFICADO
Morales Rodríguez, SantosNO ESPECIFICADONO ESPECIFICADO
Fecha del depósito: 12 Jun 2013 21:03
Última modificación: 21 Nov 2014 21:59
URI: http://eprints.uanl.mx/id/eprint/3453

Actions (login required)

Ver elemento Ver elemento

Downloads

Downloads per month over past year