Caracterización de películas delgadas de nitruro de aluminio (AlN) fabricadas por la técnica de erosión iónica

García Méndez, Manuel y Morales Rodríguez, Santos y Cruz Hernández, Wencel de La y Ramírez Vidaurri, Luciano Eliézer (2008) Caracterización de películas delgadas de nitruro de aluminio (AlN) fabricadas por la técnica de erosión iónica. Ciencia UANL, 11 (3). ISSN 1405-9177

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Resumen

Se utilizó la técnica de erosión iónica reactiva para fabricar un conjunto de películas delgadas de nitruro de aluminio (AlN) a temperatura ambiente. Las muestras se analizaron por medio de difracción de rayos X y de espectroscopia de fotoemisión de electrones (XPS: X-ray photoemission spectroscopy) para analizar sus propiedades estructurales y electrónicas, respectivamente. Dependiendo de las condiciones experimentales de depósito, las películas presentan crecimiento policristalino de microestructura hexagonal (tipo wurzita, simetría P63m3) o cúbica (tipo zincblenda, simetría Fm3m). Durante el depósito, el oxígeno compite con el nitrógeno en términos energéticos para enlazarse con el aluminio, tal como lo sugiere el análisis por XPS. Asimismo, el oxígeno puede inducir en las muestras un grado de crecimiento amorfo.

Tipo de elemento: Article
Palabras claves no controlados: peliculas, aluminio, ionica
Materias: T Tecnología > TP Tecnología Química
T Tecnología > TS Manufacturas
Divisiones: Ciencias Físico Matemáticas
Usuario depositante: Admin Eprints
Creadores:
CreadorEmailORCID
García Méndez, ManuelNO ESPECIFICADONO ESPECIFICADO
Morales Rodríguez, SantosNO ESPECIFICADONO ESPECIFICADO
Cruz Hernández, Wencel de LaNO ESPECIFICADONO ESPECIFICADO
Ramírez Vidaurri, Luciano EliézerNO ESPECIFICADONO ESPECIFICADO
Fecha del depósito: 04 Abr 2011 17:58
Última modificación: 27 Nov 2014 02:55
URI: http://eprints.uanl.mx/id/eprint/1848

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